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HAD-ZDFV-LED型系列電阻、冷規(guī)復(fù)合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測量冷陰極電離單元(ZJ-14冷規(guī))技術(shù)組合,以完成1×105~1×10-7Pa連續(xù)測量與控制。